省エネ・高信頼でユーザビリティに優れた大型恒温恒湿器です。扉を開けた時、温度変化を減らすガラス内扉を標準装備しています。

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RCF規制に対応したRCFフリー（アルミナファイバ）を炉体に採用。 炉体（断熱材）に使用されているRCFが特定化学物質の管理第2類物質に位置付けられ、また発がん性の可能性がある為、今回ヤマト科学では …

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ナノマテリアル粉体などのケミカルハザード物質の微量取扱い（秤量・小分け）における曝露防止用エンクロージャーです。本体材質は非帯電性・洗浄性に配慮したアルミ・ステンレス・強化ガラスを採用しており、一般的 …

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有害ガスを除去する排ガス処理装置です。 CRW3型はヒュームフード横置き型の湿式タイプです。 除去効率が高く、メンテナンス性の向上を図った排ガス処理装置です。大風量の排気にも対応可能で、ヒュームフ …

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エッチング・洗浄工程に適した塩化ビニル製のヒュームフードです。 ・本体は内外装ともに、フッ化水素酸・塩酸等の使用に適した硬質塩化ビニルを使用しています。 ・FHV型では、下台に恒温循環装置を組 …

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研究者ひとりひとりが安心して研究に没頭できるように、研究を行う環境を一から見直しました。操作性、機能性、安全性を備えた研究者のためのヒュームフードです。 ・操作性 人間工学に基づき、前面サッシ …

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従来の送風式オーブンと自然対流オーブンが1台になりました。風を自在に操る（風速可変+排気ダンパ）風速設定と、排気ダンパ（排気効率）との組み合わせで自在な乾燥条件を作り上げる事が出来ます。

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研究開発に最適な小型タイプで、均一性に優れた平行平板の電極構造を採用しています。 用途としてCSP、BGA、COB基板のプラズマ処理、有機膜、金属酸化膜の除去、界面活性処理などに適しています。

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多段式の並行平板型プラズマクリーナーで、電極1段・2段・3段の選択ができます。高さのある縦型マガジン等の処理も可能です。 用途として、各種材料の接着性向上、表面改質処理、電子部品洗浄、レジストの剥離 …

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低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備をはじめ、タッチパネル（PR510）の採用により、さらに操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。

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