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多段式の並行平板型プラズマクリーナーで、電極1段・2段・3段の選択ができます。高さのある縦型マガジン等の処理も可能です。 用途として、各種材料の接着性向上、表面改質処理、電子部品洗浄、レジストの剥離やウエット処理後の残渣除去、光学部品、金型、機械部品などの精密部品洗浄に適しています。
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