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ヤマト科学株式会社超分解能 3次元X線CTシステム XVA-160α II Z
画像検査装置(三次元・二次元)
高倍率で撮影可能な”斜めCT撮影”が可能なCTシステムです。
一般的なCT装置では実装基板のような平面構造物の場合、X線発生器（焦点）が観察したい箇所へ近づけられず、高倍率撮影ができません。ユー・エイチ・システム社の斜めCTでは、独自の撮影技術を用いることで 数百倍の斜めCT撮影が行えます。
超高倍率2,000倍、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した、超高分解能モデルです。
標準仕様・ユーセントリック機能・超高倍率2000倍・フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)・高精細トップテーブル・光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能・オプション機能・3次元斜めCT機能・直交CTユニット：Presto・可視光マッピング機能
機能紹介
◇ユーセントリック機能（特許取得済 No.3657768）◇
着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます。