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大塚電子株式会社光波動場三次元顕微鏡　MINUK　

顕微鏡/マイクロスコープ

表面形状測定装置

画像検査装置(三次元・二次元)

その他

MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。
さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。